晶舟_宁波伏尔肯科技股份有限公司

晶舟

伏尔肯生产的晶舟等产品已经批量应用于半导体高温热处理设备（氧化、扩散、MOCVD），陶瓷部件在半导体装备应用中对物料纯度、尺寸精度、机械性能、热性能、电性能等方面具有较高要求。

产品介绍

性能特点

高纯特质（基材杂质含量小于200ppm,涂层后小于50ppm) 一体化制备、无拼接热导率高且损耗低低膨胀系数

规格型号

可来图定制

应用领域